1)溫度穩(wěn)定性好

電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān)，這有利于挑選溫度系數(shù)低的材料，又因自身發(fā)熱極小，影響穩(wěn)定性甚微。而電阻傳感器有銅損，易發(fā)熱產(chǎn)生零漂。

2)結(jié)構(gòu)簡略

電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡略，易于制造和確保高的精度，能夠做得十分小巧，以完成某些特別的丈量；能作業(yè)在高溫，強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場等惡劣的環(huán)境中，能夠接受很大的溫度變化，接受高壓力，高沖擊，過載等；能丈量超高溫和低壓差，也能對帶磁作業(yè)進(jìn)行丈量。

3)動態(tài)呼應(yīng)好

電容式傳感器因為帶電極板間的靜電引力很小(約幾個10^(-5)N)，需求的作用能量極小，又因為它的可動部分能夠做得很小很薄，即質(zhì)量很輕，因此其固有頻率很高，動態(tài)呼應(yīng)時間短，能在幾兆赫茲的頻率下作業(yè)，特別適用于動態(tài)丈量。又因為其介質(zhì)損耗小能夠用較高頻率供電，因此體系作業(yè)頻率高。它可用于丈量高速變化的參數(shù)。

4)能夠非觸摸丈量且靈敏度高

可非觸摸丈量回轉(zhuǎn)軸的振蕩或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當(dāng)采用非觸摸丈量時，電容式傳感器具有平均效應(yīng)，能夠減小工件表面粗糙度等對丈量的影響。