首先的偏移量差錯(cuò):由于壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)筆直偏移保持恒定,因而變換器分散和激光調(diào)理批改的改變將發(fā)生偏移量差錯(cuò)。
其次是靈敏度差錯(cuò):發(fā)生差錯(cuò)巨細(xì)與壓力成正比。假如設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度差錯(cuò)將是壓力的遞增函數(shù)。假如靈敏度低于典型值,那么靈敏度差錯(cuò)將是壓力的遞減函數(shù)。該差錯(cuò)的發(fā)生原因在于分散過(guò)程的改變。
第三是線性差錯(cuò):這是一個(gè)對(duì)壓力傳感器初始差錯(cuò)影響較小的因素,該差錯(cuò)的發(fā)生原因在于硅片的物理非線性,但關(guān)于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性差錯(cuò)曲線可所以凹形曲線,也可所以凸形曲線稱(chēng)重傳感器。
zui后是滯后差錯(cuò):在大多數(shù)情形中,壓力傳感器的滯后差錯(cuò)完全可以忽略不計(jì),因?yàn)楣杵哂泻芨叩臋C(jī)械剛度。一般只需在壓力改變很大的情形中考慮滯后差錯(cuò)。
壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)差錯(cuò)是無(wú)法避免的,咱們只能挑選高精度的生產(chǎn)設(shè)備,利用高新技術(shù)來(lái)下降這些差錯(cuò),還可以在出廠的時(shí)候進(jìn)行一定的差錯(cuò)校準(zhǔn),盡zui大的可能來(lái)下降差錯(cuò)以滿足客戶的需求。